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    Clean Room

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    洁净工程

     
        洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。

    洁净室的分类


    1、按照用途来分可以分为工业洁净室和生物洁净室
       工业洁净室:以无生命微粒的控制为对象。主要控制空气尘埃微粒对工作对象的污染,内部一般保持正压状态。它适用于精密机械工业、电子工业(半导体、集成电路等)、宇航工业、高纯度化学工业、原子能工业、光磁产品工业(光盘、胶片、磁带生产)、LCD(液晶玻璃)、电脑硬盘、电脑磁头生产等多行业。
       生物洁净室:主要控制有生命微粒(细菌)与无生命微粒(尘埃)对工作对象的污染。又可分为:一般生物洁净室和生物学安全洁净室。

    2、洁净室按照气流组织的方式分为三种:单向流洁净室,非单向流洁净室和混合流洁净室
       单向流洁净室:
    空气气流运动成一均匀之直线形,空气由覆盖率100%之过滤器进入室内,并由高架地板或两侧隔墙板回风,此型式适用于无尘室等级需求较高之环境使用,一般其无尘室等级为 Class 5以上。其型式可分为二种:水平单向流和垂直单向流。
       非单向流洁净室:空气由空调箱经风管与无尘室内之空气过滤器(HEPA)进入无尘室,并由无尘室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。乱流无尘室靠送风气流不断稀释室内空气,将污染空气逐渐稀释,来实现洁净等级的目的。非单向流洁净室适用于CLASS6、7、8的洁净室,每小时的换气次数决定定义中的净化级别(换气次数越多,净化级别越高)。此种类型的洁净室投资较低、方便维护,广泛应用于电子、食品、工业领域。
       混合流洁净室:混合流洁净室中的空气为将非单向流式及单向流式予以复合或并用,可提供局部超洁净空气;这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小,用大面积非单向流代替大面积单向流以减少初期投资和后期运行费用。适用于对局部区域洁净度要求较高的洁净室?;旌狭鹘嗑皇业囊话阈问轿鼋嗑皇曳堑ハ蛄鹘嗑皇?,但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施,使该区域得到满足要求的单向流洁净区,以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度。

    3、洁净室技术参数

    类  别 非单向流洁净室 单向流洁净室 混合流洁净室
    水平单向流 垂直单向流 洁净隧道 洁净管道 局部无尘
    洁净度(级) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
    换气次数 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
    风速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
    正压(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0









    工程案例


     
     
     

     
     


    洁净室送回风示意图



    百级侧回风示意图


    百级孔板回风示意图



    千级、万级送回风示意图

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