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    混合流洁净室


        混合流洁净室中的空气为将非单向流式及单向流式予以复合或并用,可提供局部超洁净之空气;这种气流的特点是将垂直单向流面积压缩到最小,用大面积非单向流代替大面积单向流以减少初期投资和运行费用。适用于对局部区域洁净度要求较高的洁净室。混合流洁净室的一般形式为室整个洁净室为非单向流洁净室,但需要空气洁净度严格的区域上方采用单向流流型的洁净措施,使该区域得到满足要求的单向流流型洁净区,以防止周围相对较差的空气环境影响局部的高洁净度。


    洁净室技术参数


    类  别 非单向流洁净室 单向流洁净室 混合流洁净室
    水平单向流 垂直单向流 洁净隧道 洁净管道 局部无尘
    洁净度(级) 1000~100000 100~1000 100 100 100 100~1000
    换气次数 15~80 100~300 300~500 500~1000 100~300 100~300
    风速(m/s) 1~3 0.45~0.6 0.25~0.4 0.3~0.5 0.25~0.5 0.25~0.45
    正压(mmwg) 0.5~1.5 1.0~2.0 1.5~2.5 1.0~2.0 1.0~2.5 1.0~3.0








    洁净室送、回风示意图



    洁净室送回风示意图

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